微小(xiao)氣體流(liu)量計FS4001專(zhuan)門爲各(gè)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(chéng)控制💃而(ér)設計的(de)。這一系(xi)列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhu)🌈研發的(de)微機電(dian)✨系統（MEMS）流(liu)量傳感(gan)芯片來(lai)制作，适(shì)用于各(gè)類🛀🏻清潔(jié)氣體。*的(de)封裝技(ji)術使之(zhi)可用于(yú)📐各類管(guan)徑，成本(ben)低、易安(ān)裝、不需(xu)要溫度(dù)壓力補(bu)償，可替(tì)代容積(jī)式或壓(yā)差式的(de)傳統流(liú)量傳感(gan)器。
産品(pǐn)簡介：
FS4001
系列(lie)小流量(liang)氣體質(zhì)量流量(liàng)傳感器(qi)是廣州(zhōu)迪川儀(yí)器儀表(biǎo)有限公(gōng)司專門(men)爲各類(lei)小流量(liang)氣體的(de)測量和(he)過程控(kong)制而設(shè)計的。這(zhè)一系列(liè)傳感器(qì)均采用(yòng)本公司(si)自主研(yán)發的微(wēi)機電系(xì)統（
MEMS
）流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuo)，适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技🔴術使(shǐ)📐之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(rong)積式或(huo)壓差式(shì)的傳統(tǒng)👣流量傳(chuán)🚶♀️感器。
微(wēi)小氣體(ti)流量計(ji)FS4001
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傳(chuan)感器靈(ling)敏度高(gāo)
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無需(xū)溫度壓(ya)力補償(chang)
,
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在單個(gè)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gan)器集成(cheng)
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傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
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低功(gong)耗
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低壓損(sǔn)
響(xiǎng)應時間(jian)快
主要(yào)參數：
FS4001系(xì)列微小(xiǎo)流量計(jì)
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FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.8 |
mm |
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500, 1000 |
SLPM |
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精 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
% 讀數 |
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mV |
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±0.12 |
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響應時(shi)間 |
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工作電(dian)源 |
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輸出方(fāng)式 |
線性， RS232/ 0.5~4.5Vdc |
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大(da)工作壓(yā)力 |
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工作溫(wen)度 |
oC |
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存儲溫(wen)度 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
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校(xiào)準方式(shi) |
20oC ， 101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
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FS4001系列微(wēi)小流量(liàng)計訂貨詳(xiang)情請： 85628522
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