系(xi)列微型氣體質量(liàng)流量計是采用*的(de)微機電系統( MEMS )流量(liang)傳感器技術和智(zhi)能電子控制技術(shù),專爲普通氣體流(liu)量監測開發的産(chan)品。該傳感器能直(zhí)接測量氣體質量(liang)流量,低壓損。适用(yòng)于淨化空氣或氮(dàn)氣流量監控,還可(ke)用于環境采樣器(qì)(如色譜分析儀器(qì)等)
FS4008 流量傳感器,管道(dao)内徑爲 50SLPM ;可用于麻醉(zui)設備、潔淨氣體檢(jiǎn)測,如:空氣采樣機(ji),氣體分析🏃🏻♂️儀✔️等
- 專爲管徑(jing) 3mm 和 8mm 的氣管中的低(dī)壓氣體流量測量(liàng)而設計
支持多種(zhǒng)連接方式,易于安(ān)裝與使用
- 傳感芯(xin)片采用熱質量流(liu)量計量,無需溫度(du)壓力補償,保🏒證了(le)傳感器的高精度(dù)計量
- 在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gan)器集成,使其量程(chéng)比🔴達到了 甚至更(gèng)高
- 輸出方式靈活(huo),既可通過通訊接(jie)口主動上傳數據(ju)或由上🏃🏻位機查詢(xun)輸出數據,也可通(tōng)過模拟接口輸😄出(chu)線性的模拟🔱電壓(yā)
零點穩定度高
- 全(quán)量程高穩定性、高(gāo)精确度和優良的(de)重複性
低功耗、低(dī)壓損
- 響應速度快(kuài)
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性能參(cān)數 |
FS4003 |
FS4008 |
單位 |
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通徑 |
3 |
8 |
mm |
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2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
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量程比 |
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精度 |
±(1.5+0.2FS) |
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重(zhong)複性 |
0.5 |
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零點輸出飄(piāo)移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
0.12 |
%/o C |
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10 (默認、 20 、 50 、 200 、 、 1000 可設置(zhì)) |
ms |
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工作電源 |
8~24Vdc,50mA |
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輸出方(fāng)式 |
線性, RS232/ 模拟電壓(yā) 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
100 |
600 |
pa |
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zui大工(gōng)作壓力 |
0.5 |
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-10 ~ +55 |
o C |
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-20 ~ +65 |
o |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH (無結冰、無凝露(lù)) |
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機械接口 |
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校準方式 |
空氣(qì)(或其他氣體), 20oC , 101.325kPa |
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重量(liang) |
(帶
R1/4,BSPT1/4
接口)
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g |
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