産品時間:2025-12-01
FS4001系列氣體(tǐ)流量監測傳感器(qi)适用于各類清潔(jie)氣體🔴。*的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑,成本低、易安(an)裝、不需要溫度壓(ya)力補償,可替代容(róng)積式或壓差式的(de)👨❤️👨傳統流量傳感🔱器(qi)。
産品(pǐn)簡介:
FS4001系列 氣體流(liu)量監測傳感器 是專門爲各類(lei)小流量氣體的測(ce)量和過程控制而(ér)設計的。這一系列(liè)傳感器均采用本(ben)公司自主研發的(de)微機電系統( MEMS )流量傳感芯片來(lái)制作。
FS4001系列 氣體流(liu)量監測傳感器 适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝技(ji)術使之可用于各(ge)類管徑,成本低、易(yi)安裝、不需要溫度(du)壓力補償,可替代(dài)容積式🌂或壓差式(shì)的傳🌈統流量傳感(gǎn)器。
産品(pin)特點:
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傳感器(qì)靈敏度高
,
有(yǒu)極小的始動流量(liang)
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傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)計量
,
無需溫(wen)度壓力補償
,
保證了傳
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感(gan)器的高精度計量(liàng)
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在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gan)器集成
,
使傳(chuán)感器的量程比大(da)大提高
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傳感(gǎn)器的零點穩定度(dù)高
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全量程高(gao)穩定性
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全量(liàng)程高精确度和優(you)良的重複性
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低功耗
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低壓(yā)損
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響應時間(jian)快
機械尺寸(cùn):
主要參(cān)數:
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性能參數 |
FS4001 |
單位(wèi) |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀(du)數 |
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零點輸出飄移(yi) |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性,RS232/模拟電(diàn)壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(da)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH(無結冰、無凝(ning)露) |
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機械接口 |
可拆(chāi)式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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