産品簡介:
FS4001系(xì)列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器
是專門爲各(ge)類小流量氣體(tǐ)的測量和過程(chéng)控制而🐪設計的(de)。這一系列傳感(gan)器均采用本公(gōng)司自主研發🔱的(de)微機電系統(
MEMS
)流量傳感芯(xin)片來制作。
FS4001系列(liè)實驗室氣體流(liú)量傳感器
适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑,成(chéng)本🌏低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力(lì)補償,可替代容(róng)積式或壓🈲差式(shì)的傳統流量傳(chuan)感器。
産品特點:
-
傳感器靈敏度(du)高
,
有極小(xiǎo)的始動流量
-
傳感器芯片(piàn)采用熱質量流(liú)量計量
,
無(wú)需溫度壓力補(bu)償
,
保證了(le)傳
-
感器的(de)高精度計量
-
在單個芯片(pian)上實現了多傳(chuan)感器集成
,
使傳感器的量(liàng)程比大大提高(gāo)
-
傳感器的(de)零點穩定度高(gāo)
-
全量程高(gao)穩定性
-
全(quan)量程高精确度(dù)和優良的重複(fú)性
-
低功耗(hao)
-
低壓損
-
響應時間快(kuai)
機械尺寸(cun):
主要(yao)參數:
|
性能參數(shù)
|
FS4001
|
單位
|
|
通 徑
|
1.0
|
1.8
|
mm
|
|
大流(liu)量
|
30, 100, 200
|
500, 1000
|
SLPM
|
|
量程比
|
>100:1
|
|
|
精 度(dù)
|
±(1.5+0.2FS)
|
%
|
|
重複性
|
0.25
|
%讀數
|
|
零(líng)點輸出飄移
|
±30
|
mV
|
|
輸(shū)出飄移
|
±0.12
|
%/oC
|
|
響應時(shi)間
|
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
|
mses
|
|
工作電源
|
8~18Vdc,50mA
|
|
|
輸(shū)出方式
|
線性,RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc
|
|
|
大流量(liang)壓損
|
350
|
300
|
pa
|
|
大工作壓(ya)力
|
0.5
|
MPa
|
|
工作溫度
|
-10 ~ +55
|
oC
|
|
存(cún)儲溫度
|
-20 ~ +65
|
oC
|
|
工作濕(shi)度
|
<95%RH(無結冰、無凝(níng)露)
|
|
|
機械接口
|
可(kě)拆式軟管接頭(tóu)
|
|
|
校準方式
|
空氣(qi)(或其他氣體),20oC,101.325kPa
|
|
|
重(zhong)量
|
15
|
g
|