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FS4001系列實(shi)驗室氣體流量(liang)傳感器

産品時(shí)間:2025-12-01

簡要描述:

FS4001系(xi)列實驗室氣體(ti)流量傳感器适(shì)用于各類清潔(jié)氣體❤️。*的封裝技(jì)術使之可用于(yu)各類管徑,成本(běn)低、易安裝、不需(xu)要溫度壓力補(bu)償,可替代容積(jī)式或壓差式的(de)傳統流量傳感(gǎn)器。

産品簡介:

FS4001系(xì)列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器 是專門爲各(ge)類小流量氣體(tǐ)的測量和過程(chéng)控制而🐪設計的(de)。這一系列傳感(gan)器均采用本公(gōng)司自主研發🔱的(de)微機電系統( MEMS )流量傳感芯(xin)片來制作。

FS4001系列(liè)實驗室氣體流(liú)量傳感器 适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑,成(chéng)本🌏低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力(lì)補償,可替代容(róng)積式或壓🈲差式(shì)的傳統流量傳(chuan)感器。


産品特點:
  - 傳感器靈敏度(du)高 , 有極小(xiǎo)的始動流量
  - 傳感器芯片(piàn)采用熱質量流(liú)量計量 , 無(wú)需溫度壓力補(bu)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度計量
  - 在單個芯片(pian)上實現了多傳(chuan)感器集成 , 使傳感器的量(liàng)程比大大提高(gāo)
  - 傳感器的(de)零點穩定度高(gāo)
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全(quan)量程高精确度(dù)和優良的重複(fú)性
  - 低功耗(hao)
  - 低壓損
  - 響應時間快(kuai)

機械尺寸(cun):


主要(yao)參數:

性能參數(shù)

FS4001

單位

通 徑

1.0

1.8

大流(liu)量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

>100:1

精 度(dù)

±(1.5+0.2FS)

%

重複性

0.25

±30

mV

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA

 

輸(shū)出方式

線性,RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc

 

大流量(liang)壓損

350

300

pa

大工作壓(ya)力

MPa

工作溫度

oC

存(cún)儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕(shi)度

<95%RH(無結冰、無凝(níng)露)

機械接口

可(kě)拆式軟管接頭(tóu)

 

校準方式

空氣(qi)(或其他氣體),20oC,101.325kPa

 

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