産(chan)品展示

mf4001廣東(dōng)微小口徑(jìng)氣體質量(liàng)流量計

産(chǎn)品時間：2025-12-01

簡(jiǎn)要描述：

mf4001廣(guang)東微小口(kou)徑氣體質(zhi)量流量計(jì)是專門爲(wèi)各類小流(liú)量氣體的(de)♊測量和過(guò)程控制而(ér)設計的。這(zhè)一系列🍓傳(chuan)感器均采(cai)用本公司(sī)自主研發(fa)的微機電(dian)系統（MEMS）流💃量(liang)傳感芯片(piàn)來制作，适(shi)用于各📧類(lèi)清潔氣體(ti)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lei)管徑，成本(ben)低、易安裝(zhuāng)、不需要🎯溫(wen)度壓力補(bu)償，可替代(dài)容積式或(huo)壓差式的(de)傳統流☎️量(liang)傳感器。

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詳(xiáng)細介紹

mf4001廣(guang)東微小口(kǒu)徑氣體質(zhi)量流量計(ji) 産品(pǐn)特點：
- 傳感器靈(líng)敏度高 , 有極小(xiǎo)的始動流(liu)量
- 傳(chuán)感器芯片(piàn)采用熱質(zhì)量流量計(ji)量 , 無(wú)需溫度壓(ya)力補償 , 保證了(le)傳
- 感(gan)器的高精(jīng)度計量
- 在單個(ge)芯片上實(shí)現了多傳(chuan)感器集成(cheng) , 使傳(chuán)感器的量(liàng)程比大大(da)提高
- 傳感器的(de)零點穩定(dìng)度高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量程(chéng)高精确度(dù)和優良的(de)重複性
- 低功耗(hao)
- 低壓(ya)損
- 響(xiang)應時間快(kuai)

mf4001廣東微小(xiao)口徑氣體(tǐ)質量流量(liàng)計 機(ji)械尺寸：

主(zhǔ)要參數：

性(xing)能參數	FS4001		單(dan)位
通徑	1.0	1.8	mm
大(da)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhong)複性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應(ying)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chu)方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作(zuò)壓力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuò)濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露(lù)）
機械接口(kou)	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校(xiao)準方式	空(kong)氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g

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