流量(liàng)測量技(jì)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(tǐ)制造業(ye)、生物工(gong)程、精細(xì)化工等(děng)的興起(qi)，使流量(liàng)測量🌂向(xiàng)🏃低端延(yan)伸，小流(liu)量計流(liu)量的要(yao)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來(lái)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jie)尚無*的(de)定義和(hé)界限，小(xiao)流量因(yīn)應用領(lǐng)域而異(yi)是一個(gè)模糊的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liàng)體現于(yu)管徑小(xiǎo)和流速(su)低兩個(gè)層🏃🏻次，就(jiù)流程工(gong)業而言(yán)，習慣上(shang) DN10 甚(shen)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liang)測量稱(cheng)之小流(liú)量測量(liàng)，通常其(qí)流量⭐值(zhí)✊液💃🏻體🏃爲(wèi) 1L/min 或(huo) 0.06m3/h 以(yi)下，流量(liang)儀表滿(man)度流量(liang)時的流(liu)速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測量(liang)方法
傳統(tong)小流量(liang)測量技(jì)術節流(liú)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fǎ)、浮子法(fǎ)和容積(jī)法等有(you)了的改(gai)進，新測(ce)量技術(shù)如超聲(sheng)法🐆、熱法(fǎ)、科裏奧(ào)利法等(děng)也有成(cheng)效地應(ying)于液體(ti)和氣體(ti)小流量(liang)測量。
2 、特點(diǎn)
微(wēi)小流量(liang)與一般(ban)流量測(cè)量相比(bi)較，具有(yǒu)以下特(te)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guǎn)道流動(dòng)均爲紊(wen)流流動(dong)，流量儀(yí)表也是(shi)針對紊(wěn)流流動(dong)态設計(ji)的，而小(xiǎo)流量儀(yi)表因管(guan)徑小常(cháng)處于層(ceng)🆚流流❄️動(dong) ( 例(li)如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wěn)流過渡(du)區流态(tài)流動，小(xiao)流量測(cè)量受使(shǐ)用中流(liu)體黏度(dù)變化影(yǐng)響頗大(da)。
2) 要(yào)用實際(jì)使用流(liu)體校準(zhun)
液(yè)體流量(liang)儀表一(yī)般用水(shui)校準，氣(qi)體用空(kōng)氣校準(zhǔn)。若知道(dào)實💛際測(ce)量流體(tǐ)與校準(zhǔn)流體間(jiān)某些物(wu)性不同(tong)對示值(zhí)有規律(lǜ)變化時(shi)，中大管(guǎn)徑流量(liàng)儀表常(chang)以适當(dang)系數修(xiū)正。但有(you)些小流(liú)量儀表(biǎo)受黏🏃‍♂️度(du)等流體(tǐ)物性影(ying)響大，須(xu)以實際(jì)使用流(liu)體校準(zhun)。所幸流(liú)量小，用(yong)🔴實際使(shi)用流體(ti)校準難(nán)度不大(dà)，但在作(zuo)有害性(xing)流體💘校(xiao)準時應(ying)注✔️意安(ān)全和環(huán)境污染(ran)。
3) 要(yao)求測量(liang)時防止(zhǐ)污染流(liú)體
若測量(liang)潔淨氣(qì)體和純(chún)水常不(bú)允許接(jie)觸流體(tǐ)的儀表(biǎo)零件材(cai)料析出(chū)離子，例(lì)如半導(dao)體制備(bèi)中儀表(biǎo)不能用(yòng)金屬和(he)玻❗璃制(zhì)成，隻能(neng)用塑料(liào)。流體中(zhong)也不允(yǔn)許混入(ru)活動件(jiàn)的磨蝕(shí)塵粒。流(liú)量儀表(biao)流通通(tong)道要盡(jin)可能簡(jiǎn)單，不應(ying)有潴留(liu) ( 指(zhǐ)液體在(zai)體内不(bu)正常地(di)聚集停(tíng)留 ) 部位，防(fang)止潴留(liu)介質變(bian)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fù)着的影(ying)響
因管徑(jìng)小黏性(xìng)增加，液(ye)體中微(wei)細氣泡(pao)易在管(guǎn)系流動(dong)過程中(zhong)積👨‍❤️‍👨聚變(biàn)大，使測(cè)量時指(zhǐ)示不穩(wěn)，度下降(jiàng)。流體中(zhong)塵埃附(fù)着測量(liàng)元件也(ye)要影響(xiang)測量值(zhí)，例如浮(fú)子流量(liàng)計的浮(fú)子上沉(chen)積有肉(ròu)眼覺察(chá)不出的(de)附着層(céng)也會影(ying)👌響示值(zhí)。
5) 流(liu)量儀表(biao)品種使(shi)用上受(shou)到一定(dìng)限制
在衆(zhōng)多測量(liang)原理流(liu)量儀表(biao)中，因各(ge)種原因(yin)小流量(liàng)應用🔱受(shou)到一些(xiē)限制，當(dāng)前能應(ying)用于小(xiǎo)流量的(de)品種如(ru)表格所(suǒ)示